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日本HORIBA堀場 大流量/經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器 SEC-E系列 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 1秒內(nèi)高速響應(yīng) 全量程（T98） 尺寸緊湊，

日本HORIBA堀場 熱質(zhì)量流量模塊 SEC-Z700S系列 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 1秒內(nèi)高速響應(yīng) 全量程（T98） 尺寸緊湊，

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原廠HORIBA堀場 質(zhì)量流量模塊D500系列 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 ±1.0% SP（設(shè)定點） 1秒內(nèi)高速響應(yīng) 全量程（T98） 尺寸緊湊， 面間距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃氣面板。